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平面抛光机光洁度对光学玻璃的应用有什么影响
2014-07-09 13:39:18 来源：
以下是一些平面抛光机专家研究光学玻璃和光洁度时得出的结论： 随着基底表面光洁度或光学玻璃表面光洁度的增加光学玻璃的折射率会有所降低,消光系数有略微的增加。而对于基底表面光洁度为18.8 nm的样片而言,其折射率和消光系数都*大。
分析其原因主要是因为在椭偏法拟合中,对于基底粗糙度分别为1.23 nm,2.62nm,15.22 nm的样片拟合的均平方误差(MSE)均小于4,而基底粗糙度为18.8 nm的样片拟合的均平方误差(MSE)为9.29,即当基底的表面粗糙和光学玻璃的表面光洁度都较大时,采用结构模型1无法获得较准确的数据。采用结构模型2,即只考虑光学玻璃的表面光洁度,而不考虑基底的光洁度层和薄膜之间所形成的混合层的拟合结果如图4所示,其中拟合所得到的MSE都约为2.0左右。 随着基底光洁度的增加,玻璃的折射率单调减小,消光吸收单调增加。
折射率减小的主要原因是由于在结构模型中还没有考虑到基底光洁度和玻璃之间形成的混合层,由于基底光洁度的存在使得由基底材料和玻璃材料所形成的折射率小于玻璃材料的混合层在拟合中没有被分离出来而是直接进入了TiO2薄膜中,当作TiO2薄膜来处理了。而消光吸收的增加是由于表面的光洁度层和混合层都会不同程度地引起光的散射,在拟合中将这部分散射光当作了吸收光来处理了。采用结构模型3的拟合结构这里没有具体给出,主要是因为采用结构模型3所拟合的折射率和消光系数对于这四种基底光洁度而言的变化都非常小,其拟合的评价标准MSE都小于1.0。
由此可见，这些数据和实验是非常宝贵的，对平面抛光机行业光洁度有着重要的指示作用，只有高精度的平面抛光机才能为光学玻璃行业打造一个全新的未来和一个飞跃的空间。
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